Send Message
بیانیه حفظ حریم خصوصی: حریم خصوصی شما برای ما بسیار مهم است. شرکت ما قول می دهد که اطلاعات شخصی شما را برای هرگونه مجوزهای صریح خود برای هرگونه گسترش فاش نکند.
سیستم های گاز یکپارچه (IGS) مورد استفاده در تجهیزات نیمه هادی به طور معمول از مؤلفه هایی مانند دریچه های دیافراگم ، شیرهای چک ، تنظیم کننده ها ، فیلترها ، سنسورهای فشار ، کنترل کننده های جریان جرم و بسترها تشکیل شده است. این مؤلفه ها معمولاً سطح نصب شده و با استفاده از W-Seal یا C-Seal مهر و موم می شوند. انتخاب نوع آب بندی در تعیین عملکرد آب بندی سیستم بسیار مهم است. در این گفتگوی فنی ، ما در مورد شباهت ها و تفاوت های بین W-Seal و C-Seal بحث خواهیم کرد.
W-Seal و C-Seal هر دو نوع مهر و موم فلزی هستند. بر خلاف مهر و موم های غیر فلزی مانند لاستیک یا کامپوزیت ، مهر و موم های فلزی به دلیل فشرده سازی به مرور زمان بدتر نمی شوند و سازگاری شیمیایی خوبی دارند. واشرهای Ichor W-Seal (سری IWG) و واشرهای C-Seal (سری ICG) از 316L یا 316L فولاد ضد زنگ VAR مطابق با فرآیند خلوص فوق العاده بالا (FC-03) ساخته شده اند. این واشرها برای رسیدن به زبری سطحی از 5 میکروین Ra inteled به صورت الکترو قابل استفاده هستند. (0.13 میکرومتر) ، که مطابق با نیمه F19 UHP است. با عملکرد آب بندی عالی ، میزان نشت صورت آنها (هلیوم) ≤ 10 -9 std cm 3 /ثانیه.
در مقایسه با مهر و موم جوش یا مهر و موم صورت فلزی ، W-Seal و C-Seal جمع و جور تر هستند و می توانند به میزان قابل توجهی اندازه سیستم های تحویل گاز را کاهش دهند. برای مواردی که نیاز به جریان محدود دارند ، واشرهای آب بندی با دهانه مشخص در دسترس هستند.
واشرهای W-Seal (سری IWG) با یک ساختار "شناور" طراحی شده اند و این امکان را فراهم می کند تا چهره آب بندی مستقل از اجزای دریافت کننده نیروهای خارجی باشد. در حین نصب ، صورت آب بندی واشر در برابر اجزای نصب شده سطح (مانند بدنه دریچه W-Seal) فشرده می شود و بسترها را تشکیل می دهد و مهر و موم را تشکیل می دهد. هر W-Seal را می توان به صورت جداگانه در سیستم نصب کرد و باعث می شود که با تغییر طرح بندی سیستم ، حذف و نصب مجدد آن آسان شود. علاوه بر این ، کیت سرویس ICHOR (مدل شماره: SC-IGS-11) موچین واشر را برای واشرهای W-Seal ارائه می دهد تا از نصب با کیفیت واشر اطمینان حاصل شود.
بخش یک واشر C-Seal (سری ICG) شبیه حرف "C" با دو رئیس مهر و موم شده مسطح در هر دو طرف است. هنگامی که به درستی سفت شد ، بالا و پایین سر و صدا واشر در برابر اجزای نصب شده سطح (مانند بدنه دریچه C-Seal) و چهره های آب بندی سخت شده بسترها و ایجاد مهر و موم ایجاد می شود. علاوه بر این ، براکت واشر C-Seal می تواند در یک زمان به مکان یابی چندین واشر کمک کند.
ارسال به این منبع
بیانیه حفظ حریم خصوصی: حریم خصوصی شما برای ما بسیار مهم است. شرکت ما قول می دهد که اطلاعات شخصی شما را برای هرگونه مجوزهای صریح خود برای هرگونه گسترش فاش نکند.
اطلاعات بیشتری را پر کنید تا بتواند سریعتر با شما در تماس باشد
بیانیه حفظ حریم خصوصی: حریم خصوصی شما برای ما بسیار مهم است. شرکت ما قول می دهد که اطلاعات شخصی شما را برای هرگونه مجوزهای صریح خود برای هرگونه گسترش فاش نکند.